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TR Scan Premium

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DESCRIÇÃO

TR Scan Premiuem Pack 3D

Medição de superfícies sem contacto, precisão nanométrica

O TR Scan Premium permite a medição das superfícies mais sensíveis com uma velocidade e precisão surpreendentes. Tornou-se inevitável em muitos casos para aplicações de alta tecnologia, quando a medição tradicional por contacto atingiu os seus limites. Aparelhos médicos, próteses, wafers, MEMS, semicondutores, depósitos de camadas metálicas, filmes de polímeros, componentes ópticos, investigação e desenvolvimento, controlo de qualidade, são as áreas de especialização do TR Scan Premium.

A velocidade de medição excecionalmente elevada, aliada a uma gama de precisão de um nanómetro, constituem as principais vantagens do TR Scan. São necessários apenas alguns microssegundos para a aquisição de uma imagem tridimensional.

  • Sem contacto
  • Velocidade de medição excecional
  • Resolução nanométrica
  • Software de última geração
  • Modelos de medição pré-programados
  • Compatível com as normas 2D e 3D
  • Ótica permutável ou montada num carrossel

Dados técnicos

Especificações CCM-L1 0,2 mm CCM-L1 1mm CCM-L1 4mm
Gama de medição vertical 200 µm 0,95 mm 3,9 mm
Largura da linha 0,96 mm ± 0,01 mm 1,91 mm ± 0,01 mm 4,78 mm ± 0,02 mm
Espaçamento lateral 5 µm 10 µm 25 µm
Distância de trabalho 5,3 mm ± 0,2 mm 18,5 mm ± 0,2 mm 41 mm ± 0,2 mm
Tamanho do ponto 2 µm 4 µm 10 µm
Resolução lateral 1 µm 2 µm 5 µm
Exatidão ± 80 nm ± 300 nm ± 1,2 µm
Abertura digital 0.7 0.55 0.33
Ângulo máximo de medição 90°+/-44° 90°+/-33° 90°+/-20°
Gama de medição da espessura 20 μm – 280 μm 75 μm – 1,35 mm 300 μm – 5,5 mm
Medição de Ra mínimo 1) < 0.1 µm < 0.8 µm NA
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