Descrição

TR Scan Premiuem Pack 3D

Medição de superfícies sem contacto, precisão nanométrica

O TR Scan Premium permite a medição das superfícies mais sensíveis com uma velocidade e precisão surpreendentes. Tornou-se inevitável em muitos casos para aplicações de alta tecnologia, quando a medição tradicional por contacto atingiu os seus limites. Aparelhos médicos, próteses, wafers, MEMS, semicondutores, depósitos de camadas metálicas, filmes de polímeros, componentes ópticos, investigação e desenvolvimento, controlo de qualidade, são as áreas de especialização do TR Scan Premium.

A velocidade de medição excecionalmente elevada, aliada a uma gama de precisão de um nanómetro, constituem as principais vantagens do TR Scan. São necessários apenas alguns microssegundos para a aquisição de uma imagem tridimensional.

• Sem contacto
• Velocidade de medição excecional
• Resolução nanométrica
• Software de última geração
• Modelos de medição pré-programados
• Compatível com as normas 2D e 3D
• Ótica permutável ou montada num carrossel

Dados técnicos

Especificações	CCM-L1 0,2 mm	CCM-L1 1mm	CCM-L1 4mm
Gama de medição vertical	200 µm	0,95 mm	3,9 mm
Largura da linha	0,96 mm ± 0,01 mm	1,91 mm ± 0,01 mm	4,78 mm ± 0,02 mm
Espaçamento lateral	5 µm	10 µm	25 µm
Distância de trabalho	5,3 mm ± 0,2 mm	18,5 mm ± 0,2 mm	41 mm ± 0,2 mm
Tamanho do ponto	2 µm	4 µm	10 µm
Resolução lateral	1 µm	2 µm	5 µm
Exatidão	± 80 nm	± 300 nm	± 1,2 µm
Abertura digital	0.7	0.55	0.33
Ângulo máximo de medição	90°+/-44°	90°+/-33°	90°+/-20°
Gama de medição da espessura	20 μm – 280 μm	75 μm – 1,35 mm	300 μm – 5,5 mm
Medição de Ra mínimo 1)	< 0.1 µm	< 0.8 µm	NA